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34th European Mask and Lithography Conference : 18-20 June 2018, Grenoble, France / editors: Uwe F. W. Behringer, Jo Finders ; organized by VDE/VDI GMM - The Society for Microelectronics, Microsystems and Precision Engineering (Germany) ; published by SPIE

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MedienartBand [Band]
Art/InhaltKonferenzschrift
SignaturE 1-45-17
VerfasserEuropean Mask and Lithography Conference (34. : 2018 : Grenoble)
Titel 34th European Mask and Lithography Conference : 18-20 June 2018, Grenoble, France / editors: Uwe F. W. Behringer, Jo Finders ; organized by VDE/VDI GMM - The Society for Microelectronics, Microsystems and Precision Engineering (Germany) ; published by SPIE
PersonBehringer, Uwe [Herausgeber/in]
Finders, Jo [Herausgeber/in]
Körperschaft SPIE [Herausgebendes Organ]
SPIE [Sponsor/in]
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik [Mitwirkende/r]
VeröffentlichungBellingham, Washington : SPIE, [2018]
Umfang / Format 1 Band (verschiedene Seitenzählungen) : Illustrationen, Diagramme
SpracheEnglisch
LandUSA
ISBN9781510621213
Nummer166768809X (K10Plus-Nummer)
Schriftenreihe (Proceedings of SPIE ; Volume 10775)
Lokale Systematik E 1-45 Elektrotechnik - Grundlagen - Tagungsberichte
E 2-200 Elektrotechnik - Bauelemente - Halbleitertechnologie
E 2-300 Elektrotechnik - Bauelemente - Halbleiterbauelemente, Mikroschaltungen

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BibliothekStandortSignaturBestellmöglichkeitVerfügbarkeit
Hochschulbibliothek Reutlingen Freihand / Lesesaal 1 E 1-45-17 Standardausleihe Verfügbar